硅是带来人类文明的重要元素之一，从传统材料到信息材料的发展过程中创造了许多奇迹。
（l）新型陶瓷Si₃N₄的熔点高、硬度大、化学性质稳定。工业上可以采用化学气相沉积法，在H2的保护下，使SiCI₄与N₂反应生成Si₃N₄沉积在石墨表面，写出该反应的化学方程式_    ___。
（2）已知硅的熔点是1420℃，高温下氧气及水蒸气能明显腐蚀氮化硅。一种用工业硅（含少量钾、钠、铁、铜的氧化物）合成氮化硅的主要工艺流程如下：

①净化N₂和H₂时，铜屑的作用是  ；硅胶的作用是__________。
②在氮化炉中3Si（s） +2N₂（g） =Si₃N₄（S） △H= -727.5kJ．mol^-l，开始时为什么要严格控制氮气的流速以控制温度？    ；体系中要通人适量的氢气是为了__________。
③X可能是   （选填“盐酸”、“硝酸”、“硫酸”或“氢氟酸”）。
（3）工业上可以通过如下图所示的流程制取纯硅：

①整个制备过程必须严格控制无水无氧。SiHCl₃遇水能发生剧烈反应，写出该反应的化学方程式 。
②假设每一轮次制备1mol纯硅，且生产过程中硅元素没有损失，反应I中HCI的利用率为90%，反应II中H₂的利用率为93．75%。则在第二轮次的生产中，补充投入HC1和H₂的物质的量之比是 。