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在半导体器件中,常把纳米级厚度的导电材料沉积到芯片上形成导电薄膜.在研究这些薄膜的导电性能时,就需要使用薄膜电阻这一概念.设导电材料的电阻率为
ρ
,薄膜的长、宽和厚度分别为
a
、
b
、
c
,如图所示,如果形式上将薄膜
A、B
间的电阻表示为
R
AB
=
ρ
s
,则比例系数
ρ
s
和材料电阻率
ρ
间的关系为
ρ
s
=_____.
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0.85难度 填空题 更新时间:2019-08-23 10:59:55
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