“太阳能光伏发电”能有效推行“低碳经济”的发展，其最关键的材料是高纯硅（Si）．三氯甲硅烷（SiHCl₃）还原法是当前制备高纯硅的主要方法，生产流程示意图如下：

下列说法正确的是（   ）

A：三氯甲硅烷（SiHCl₃）不属于有机物

B：上述流程中可循环使用的物质是H₂、HCl

C：“精馏”是蒸馏的一种，其原理是利用混合物成分的密度不同

D：从粗硅到SiHCl₃（粗）的化学反应方程式为：Si+HCl═SiHCl₃+H₂