据报道，太阳能光伏发电在上海世博会上得到了大规
模的应用，总装机容量超过4.68兆瓦。
（1）发展太阳能产业主要优点是（填一点即可）    。
（2）太阳能光伏发电最关键的材料是高纯硅，下图是我市某多晶硅生产企业生产高纯硅的流程示意图：

发生的反应为：
①SiO₂+2CSi+2CO↑
②Si+3HClSiHCl₃+H₂↑
③ SiHCl₃+H₂Si+3HCl
整个制备过程必须达到无水无氧。在H₂还原SiHCl₃过程中若混入O₂，可能引起的后果是 。
（3）为了达到绿色化学和节约资源的目的，上述流程中某化合物需要循环使用，该物质的化学式是 。