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多晶硅生产工艺流程如下:
(1)粗硅粉碎的目的是
。分离SiHCl
3
(l)和SiCl
4
(l)的方法为
。
(2)900℃以上, H
2
与SiHCl
3
发生如下反应:SiHCl
3
(g)+ H
2
(g)
Si (s) + 3HCl (g) ΔH >0,其平衡常数表达式为K =
。为提高还原时SiHCl
3
的转化率,可采取的措施有
。
(3)该流程中可以循环使用的物质是
。
(4)SiCl
4
与上述流程中的单质发生化合反应,可以制得SiHCl
3
,其化学方程式为
。
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0.4难度 工业流程 更新时间:2013-10-14 10:54:52
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