用氟硅酸(H₂SiF₆)制备冰晶石(Na₃AlF₆)的工艺流程如下所示：

（1）氟硅酸(H₂SiF₆)酸性强于硫酸，通常由四氟化硅经水吸收制得，其化学方程式为______________________________。
（2）反应②为脱硅工艺，滤渣②是__________。
（3）向NaF溶液中加入Al₂(SO₄)₃溶液发生反应③的离子方程式为_______________；NaF溶液呈碱性，在加入A l₂(SO₄)₃溶液前，需先用硫酸将NaF溶液的pH下调至5左右，否则可能产生副产物______________。
（4）干燥前，检验冰晶石是否洗涤干净的实验方法是____________________________。
（5）从母液中可循环利用的物质是_____________________。
（6）碳酸化法也是工业制取冰晶石的一种方法：在偏铝酸钠及氟化钠溶液中，通入足量二氧化碳即可，请写出该反应的化学方程式____________________________。