LiPF₆是锂离子电池中广泛应用的电解质。某工厂用LiF、PCl₅为原料，低温反应制备LiPF₆，其流程如下：

已知：HCl的沸点是—85.0℃，HF的沸点是19.5℃。
（1）第①步反应中无水HF的作用是____________、_____________。无水HF有腐蚀性和毒性，工厂安全手册提示：如果不小心将HF沾到皮肤上，可立即用2%的_______溶液冲洗。
（2）该流程需在无水条件下进行，第③步反应中PF₅极易与水反应，其产物为两种酸，写出PF₅与水反应的化学方程式：________________________________________。
（3）第④步分离采用的方法是_______；第⑤步分离尾气中HF、HCl采用的方法是_____________