硅是带来人类文明的重要元素之一，在传统材料发展到信息材料的过程中创造了一个又一个奇迹。
(1)新型陶瓷Si₃N₄的熔点高、硬度大、化学性质稳定。工业上可以采用化学气相沉积法，在H₂的作用下，使SiCl₄与N₂反应生成Si₃N₄沉积在石墨表面，该反应的化学方程式为________________________________________________________________________。
(2)一种用工业硅(含少量铁、铜的单质及化合物)和氮气(含少量氧气)合成氮化硅的工艺主要流程如下：

已知硅的熔点是1 420 ℃，高温下氧气及水蒸气能明显腐蚀氮化硅。
①N₂净化时，铜屑的作用是：__________________________；
硅胶的作用是_______________________________________。
②在氮化炉中反应为3Si(s)＋2N₂(g)===Si₃N₄(s)　ΔH＝－727.5 kJ/mol，开始时须严格控制氮气的流速以控制温度的原因是_____________________________________________________。
③X可能是________(选填“盐酸”、“硝酸”、“硫酸”或“氢氟酸”)。
(3)工业上可以通过如下图所示的流程制取纯硅：

①整个制备过程必须严格控制无水无氧。SiHCl₃遇水剧烈反应，该反应的化学方程式为_______________________________。
②假设每一轮次制备1 mol纯硅，且生产过程中硅元素没有损失，反应Ⅰ中HCl的利用率为90%，反应Ⅱ中H₂的利用率为93.75%。则在第二轮次的生产中，补充投入HCl和H₂的物质的量之比是________。