硅是带来人类文明的重要元素之一，从传统材料到信息材料的发展过程中创造了一个又一个奇迹。
（1）新型陶瓷Si₃N₄的熔点高、硬度大、化学性质稳定。工业上可以采用化学气相沉积法，在H₂的保护下，使SiCl₄与N₂反应生成Si₃N₄沉积在石墨表面，写出该反应的化学方程式：_______。
（2）一种工业用硅(含少量钾、钠、铁、铜的氧化物)，已知硅的熔点是1420 ℃，高温下氧气及水蒸气能明显腐蚀氮化硅。一种合成氮化硅的主要工艺流程如下：

①净化N₂和H₂时，铜屑的作用是__________，硅胶的作用是____________。
②在氮化炉中发生反应3SiO₂(s)＋2N₂(g)=Si₃N₄(s)＋3O₂(g)　ΔH＝－727.5 kJ·mol^－1，开始时，严格控制氮气的流速以控制温度的原因是_____；体系中要通入适量的氢气是为了_____。
③X可能是__________(填“盐酸”“硝酸”“硫酸”或“氢氟酸”)。
（3）工业上可以通过如图所示的流程制取纯硅：

①整个制备过程必须严格控制无水无氧。SiHCl₃遇水剧烈反应，写出该反应的化学方程式：_____。
②假设每一轮次制备1mol纯硅，且生产过程中硅元素没有损失，反应Ⅰ中HCl的利用率为90%，反应Ⅱ中H₂的利用率为93.75%。则在第二轮次的生产中，补充投入HCl和H₂的物质的量之比是______。