2018年4月美国对中国企业中兴通讯禁售手机芯片等，芯片的制造引起了热议，而制造芯片的主要原材料是高纯硅。高纯硅制备方法之一的工业流程如下：

资料：SiHCl₃能与H₂O剧烈反应；在空气中易自燃；粗SiHCl₃（沸点33.0℃）中含有少量SiCl₄（沸点57.6℃）和HCl（沸点﹣84.7℃）
（1）流程①中利用了焦炭的_____性。流程③中的精馏温度应不超过_____。
（2）流程④制备高纯硅的装置如图（热源及夹持装置略去）：

①流程④的化学反应为置换反应，写出其化学方程式：_____。
②装置B中的试剂是_____；装置C中的烧瓶需要加热，其目的是_____。
③反应一段时间后，装置D中观察到的现象是_____。
④为保证制备高纯硅实验的成功，操作的关键是检查实验装置的气密性，控制好反应温度以及_____。
（3）该流程中能够循环利用的物质是_____。