氮化硅是一种重要的结构陶瓷材料，具有优良性能。
(1)基态氮原子的电子排布式为___________，基态硅原子未成对电子数是___________，碳、氮硅的电负性由大到小的顺序是___________。
(2)碳热还原法制氮化硅是在氮气中用碳还原SiO₂，写出该反应的化学方程式：______________________。氮化硅一般不与酸反应，但能与氢氟酸反应，写出氮化硅与过量氢氟酸反应的化学方程式：______________________。
(3)三氯硅烷( SiHCl₃)也可用于制备氮化硅，三氯硅烷分子的空间构型为___________，其分子中硅原子的杂化轨道类型为___________。
(4)氮化硅与碳化硅、氮化硼等作用可产生结合材料，改善性能。氮化硅、碳化硅的化学性质都很稳定，其原因是_________________________________。
(5)碳化硅立方晶系晶胞如图所示。C－Si－C键的夹角是___________，其晶体类型是___________，若立方晶系的碳化硅密度为ρg·cm^－3，N_A表示阿伏加德罗常数的值，则晶胞的棱长为___________。