中安在线2014年2月15日报道，安徽滁洲正在以石英资源为基础，打造培育千亿元硅产业。石英的主要成分为二氧化硅，它是玻璃工业和陶瓷工业的原料，冶金工业的助熔剂。硅是太阳能电池和电脑芯片不可缺少的材料。生产高纯硅的流程示意图如下：

请回答下列问题：
(1)二氧化硅与焦炭在高温下反应生成硅和一氧化碳。该反应的化学方程式为_____________。
(2)蒸馏属于________变化(填“物理”或“化学”)。
(3)整个制备过程必须达到无水无氧，若在H₂还原SiHCl₃过程中混入O₂，可能引起的后果是________________ 。