2017年12月28日，全球首段承载式太阳能光伏发电公路试验段在我省建成通车。高纯硅是光伏发电的重要材料，生产高纯硅的流程图如图：

(1)生产高纯硅需要对普通石英砂(含有少量Fe₂O₃杂质)进行提纯，其中酸洗是一个重要的步骤。请写出用盐酸除去Fe₂O₃的化学方程式_____。
(2)整个生产过程中必须控制无氧、无水。在HSiCl₃与H₂反应过程中若混入O₂，可能引起的后果是_____。HSiCl₃遇水能剧烈反应生成H₂SiO₃、H₂与HCl，该反应的化学方程式是_____。
(3)为了节约资源，上述生产流程中可循环利用的物质是_____(填化学式)。