Si是重要的半导体材料,半导体工业中有一句行话“从沙滩到用户”,指的是利用砂子(主要成分SiO
2)制取高纯度的Si,其生产流程如下:


(1)步骤②发生反应的反应类型为__________。
(2)步骤①产生的尾气会污染空气,该尾气处理的方法是__________。
(3)步骤③中发生反应的化学方程式为__________。
(4)步骤②、③都需要注意防潮,可能的原因是__________(填字母序号)。
A.硅能与水蒸气反应
| B.氢气能与水蒸气反应
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C.SiCl4能与水蒸气反应
| D.氯化氢能与水蒸气反应
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