氮化硅（Si₃N₄）是一种优良的高温结构陶瓷，在工业生产和科技领域有重要用途。
I．工业上有多种方法来制备氮氦化硅，常见的方法有：
方法一 直接氮化法：在1300~1400℃时，高纯粉状硅与纯氮气化合，其反应方程式为
___________________________________________________________________________
方法二 化学气相沉积法：在高温条件下利用四氯化硅气体、纯氮气、氢气反应生成氮化硅和HCl，与方法一相比，用此法制得的氮化硅纯度较高，其原因是____________。
方法三 Si(NH₂)₄热分解法：先用四氯化硅与氨气反应生成Si(NH₂)₄和一种气体_________（填分子式）；然后使Si(NH₂)₄受热分解，分解后的另一种产物的分子式_____________。
II．（1）氨化硅抗腐蚀能力很强，但易被氢氟酸腐蚀，氨化硅与氢氟酸反应生成四氟化硅和一种铵盐，此盐中存在的化学键类型有_________________。
（2）已知：25℃，101kPa条件下的热化学方程式：
3Si（s）+2N₂（g）==Si₃N₄（s） △H=-750.2kJ/mol
Si（s）+2Cl₂（g）==SiCl₄（g） △H=-609.6kJ/mol
H₂（g）+Cl₂（g）==HCl（g） △H=-92.3kJ/mol
请写出四氯化硅气体与氮气、氢气反应的热化学方程式：
_____________________________________________________________________。
III．工业上制取高纯硅和四氯化硅的生产流程如下：

已知：X、高纯硅、原料B的主要成分都可与Z反应，Y与X在光照或点燃条件下可反应，Z的焰色呈黄色。
（1）原料B的主要成分是______________。
（2）写出焦炭与原料B中的主要成分反应的化学方程式：_________________。
（3）上述生产流程中电解A的水溶液时，阳极材料能否用Cu？__（填“能”或“不能”）。
写出Cu为阳极电解A的水溶液开始一段时间阴阳极的电极方程式：
阳极：_____________________；阴极：___________________。