石墨烯是“新材料之王”
I．工业上制备纯硅的一种流程如下
SiO₂Si（粗）SiHCl₃Si（纯）
（1）步骤②经过冷凝得到的SiHCl₃中含有少量的SiCl₄和HCl，采用蒸馏来提纯SiHCl₃，蒸馏属于_____（填“物理变化”或“化学变化”）
（2）上述反应都是置换反应，流程中可循环使用的物质有_____（填化学式）
Ⅱ．石墨烯是由碳原子组成的只有一层原子厚度的二维晶体，微观结构示意图如图所示；石墨烯是导电导热性能很强的一种新材料，最有潜力成为硅的替代品．

（1）下列叙述正确的是_____（填序号）
a石墨烯是单质 b石墨烯是化合物 c石墨烯不导电
（2）将甲烷（CH₄）在镍或铜等金属基体上高温分解，碳原子会沉积吸附在金属表面连续生长成石墨烯．写出该反应的化学方程式_____．