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在微电子工业中 NF
3
常用作氮化硅的蚀刻剂,工业上通过电解含 NH
4
F 等的无水熔融物生产NF
3
,其电解原理如图。下列说法不正确的是( )
A.a 电极为电解池的阳极
B.阳极的电极反应式: NH
4
+
+3F
-
-6e
—
===NF
3
+4H
+
C.H
+
由b极移向a极,并参与电极反应
D.电解过程中可能还会生成少量氧化性极强的气体单质,该气体的分子式为 F
2
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0.65难度 单选题 更新时间:2017-05-25 09:29:19
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