从20世纪中叶开始，硅成了信息技术的关键材料，是目前应用最多的半导体材料。请回答下列问题：
（1）地壳里各种元素的含量（质量分数）如图所示，其中表示硅元素的是_____（填字母）。

（2）根据元素周期表可知，原子序数为6的碳原子和原子序数为14的硅原子最外层电子数均为4，则常温下硅的化学性质_____（选填“活泼”、“不活泼”）。
（3）制备硅半导体材料必须先得到高纯硅，三氯甲硅烷（SiHCl₃）还原法是当前制备高纯硅的主要方法。生产过程示意如下：

①整个制备过程必须达到无水无氧。在H₂还原SiHCl₃过程中若混入O₂，可能引起的后果是_____。
②在生产过程中物质A可循环使用，A的化学式是_____；在生产过程中还有一种可循环使用的物质是_____。