晶体硅是一种重要的非金属材料。制备纯硅的主要步骤如下：
①高温下用碳还原二氧化硅制得粗硅，同时得到一种可燃性气体。
②粗硅与干燥HCl气体反应制得SiHCl₃：Si+3HClSiHCl₃+H₂
③SiHCl₃与过量H₂在1000～1100℃反应制得纯硅。
已知SiHCl₃能与H₂O强烈反应，在空气中易自燃。
请回答下列问题：
（1）第①步制备粗硅的化学反应方程式为_____。
（2）粗硅与HCl反应完全后，经冷凝得到的SiHCl₃（沸点33.0℃）中含有少量SiCl₄（沸点57.6℃）和HCl（沸点－84.7℃），提纯SiHCl₃采用的方法为：_____。
（3）用SiHCl₃与过量H₂反应制备纯硅的装置如下（热源及夹持装置略去）：

①装置B中的试剂是_____，装置C中的烧瓶需要加热，其目的是：_____。
②装置D不能采用普通玻璃管的原因是_____，装置D中发生反应的化学方程式为_____。
③为保证制备纯硅实验的成功，操作的关键是检查实验装置的气密性，控制好反应温度以及_____。