给汉字娃娃找家
峦 腹 卡 渠 呆 型
kǎ dāi luàn fù xíng qú
峦luàn;腹fù;卡kǎ;渠qú;呆dāi;型xíng
氮化硅膜与二氧化硅膜相比较具有表面化学性能稳定等优点,故氮化硅膜可用于半导体工业.为生成氮化硅膜,可以用NH3和SiH4(硅烷)在一定条件下反应并在600℃的加热基板上生成氮化硅膜:
3SiH4+4NH3Si3N4+12H2