下列各组微粒中，都互为等子体的是（　　）

A：CO、NO、NaH、N₂

B：SO₂、N$\stackrel{+}{2}$、N$\stackrel{-}{3}$、CNO^﹣

C：CO$\stackrel{2-}{3}$、NO$\stackrel{-}{3}$、BeCl₂

D：SiF₄、SiO$\stackrel{4-}{4}$、SO$\stackrel{2-}{4}$、PO$\stackrel{3-}{4}$