作为推行“低碳经济”的重要科技进步,太阳能光伏发电成为2010年上海世博会的“亮点”。太阳能光伏发电最关键的材料是高纯硅,三氯甲硅烷(SiHCl
3)还原法是当前制备高纯硅的主要方法。生产流程示意如下:

(1)石英砂的主要成分是SiO
2,工业上制取粗硅的化学方程式为:SiO
2+2C

Si+2R,R的化学式为____;该反应的基本类型是_____________。
(2)整个制备过程必须达到无水无氧。在H
2还原SiHCl
3过程中若混入O
2,可能引起的后果是______________。
(3)为了达到绿色化学和资源综合利用的目的,在生产过程中物质A需要循环使用,A的化学式是______。